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        1. 新能源分公司:多點發力緊抓產品質量

          日期:2021-10-20
          訪問量:93

          自9月以來,多晶硅產品質量水平及產出率達到歷史最優且呈持續上升趨勢。截止目前,一線電子級占比97.21%,電子一級占比75.27%,較9月提升了19.12%;二、三線電子產品產量較前期大幅提升,占比分別34.52%和30.81%。

          新能源分公司牢固樹立“質量就是生命線”的產品質量控制理念,今年以來以市場需求為導向,立足高質量發展,全面提升質量管理效能,圍繞制約質量的技術難題,開展系統性質量技術攻關,持續治理質量“頑疾”,取得了顯著攻關效果。

          強化全過程控制,著力解決產品碳含量高的問題。抓好除碳關鍵環節,優化控制參數。調整粗餾塔控制參數,從源頭控制碳雜質的富集;改進精餾塔工藝流程,精準利用系統內混合物沸點差異,從工藝上阻斷碳雜質的流通,降低精三氯氫硅中的碳雜質。強化關鍵過程、手工工序的質量管控,對還原爐底盤鐘罩清理、硅芯安裝、硅棒收割、硅棒破碎、硅塊清洗等環節操作流程進行優化和改進,對工具、工作服手套等勞保用品、包裝袋等進行碳雜質控制,有效降低作業過程中碳雜質的引入,保證電子級多晶硅體碳和表碳在控制指標范圍內。

          優化精餾塔運行參數,系統提升精餾裝置產能。為進一步提升中間產品三氯氫硅產量,分公司成立精餾裝置產能提升攻關小組,重點解決30、40系列產品收率問題。優化精餾塔頂溫、釜溫、頂壓、回流比等工藝參數和流出與釜排量,對一塔進料量進行調整,使30系列中間產品收率環比提升了22%。調整精餾塔運行參數,由除重組分改為除輕組分,降低40系列產品中的磷雜質和砷雜質水平??刂屏鞒隽?,使40系列產品收率環比提升了28%。對儀表閥門等進行了認真排查和校驗,為精餾裝置高效穩定運行及產能提升提供堅實的保障。

          改進輔助設施,協同推進產品質量的提升。進行還原爐噴嘴改造。針對噴嘴不銹鋼材質因高溫腐蝕造成的產品雜質升高問題,通過調整部分還原爐的噴嘴高度,改造后多晶硅施主雜質含量呈現大幅降低趨勢。

          實施氮氣、氬氣純化系統改造。針對因氣體輸送管線長且存在管線氯硅烷互串的隱患,導致供給到各分場的氮氣、氬氣中的金屬雜質含量較高的問題,對氮氣、氬氣凈化裝置進行了市場考察、調研并成功實施了技術改造,目前氮氣、氬氣中的金屬雜質明顯降低,電子級多晶硅中的體金屬環比降低42.86%。

          提升循環氫氣質量。結合氯硅烷物性曲線對A08一線裝置的氯化氫吸收塔、氯化氫解析塔的工藝控制參數進行了優化調整,循環氫質量得到明顯改善,電子級多晶硅產品質量得到大幅提升,使電子二級以上產品占比達到95%以上。

          新能源分公司始終堅持以質量為核心,以科技為驅動,以創新為動力,以生產和工藝為依托,加強過程控制,強化潔凈意識,在推動產品質量穩定提升上下功夫,分公司將繼續深耕技術,強化管理,以打造國家集成電路材料一流企業為使命,在客戶中樹立良好的質量形象。